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電子光學(xué)

茂名電子光學(xué)萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間工程案例

作者: 廣東卓為環(huán)境科技有限公司官網(wǎng)發(fā)表時(shí)間:2017-08-08 10:45:51瀏覽量:3545

  一、萬(wàn)級凈化概括:
  萬(wàn)級凈化主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內的空氣,將室內的污染逐漸排出,來(lái)實(shí)現潔凈效果。室內的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動(dòng),拌有回流或渦流,不同等級的無(wú)塵室,主要是依靠單位時(shí)間內所送風(fēng)量的不同來(lái)實(shí)現.。 目前有十萬(wàn)級和三十萬(wàn)級兩種標準。

  二、萬(wàn)級凈化潔凈室:
  潔凈室(Clean Room),亦稱(chēng)為無(wú)塵室或清凈室。

  「潔凈室」是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

  三、萬(wàn)級凈化作用
  潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱(chēng)之為「潔凈室」。
  世界各國均有自定規格,但普遍還是用美國聯(lián)邦標準209為多,以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標準作介紹與相互比較。
  209E與209D等最大之不同在于209E表示單位增加了公制單位,潔凈室等級以‵M′字頭表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類(lèi)推,配合國際公制單位之標準化,M字母后之阿拉伯數目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數目字以10的冪次方表示,取指數為之,若微塵粒子數介于前后二者完全冪次方之間,則以1.5、2.5、3.5….表示。
  美國聯(lián)邦標準FS 209D都以英制每立方英呎為單位,日本則是采用公制,即以每立方公尺為單位,以0.1μm微粒子為計數標準。日本標準之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,最好的等級為Class 1,最差則為Class 8,以每立方公尺中微塵粒子總數中化為10的冪次方,取其指數而得。

  四、萬(wàn)級凈化潔凈室分類(lèi):

 ?。?)、工業(yè)潔凈室——以無(wú)生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染,內部一般保持正壓狀態(tài)。 它適用于精密機械工業(yè)、電子工業(yè)(半導體、集成電路等)宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)(光盤(pán)、膠片、磁帶生產(chǎn))LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤(pán)、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。
 ?。?)、生物潔凈室,主要控制有生命微粒(細菌)與無(wú)生命微粒(塵埃)對工作對象的污染。又可分為; A、 一般生物潔凈室,主要控制微生物(細菌)對象的污染。同時(shí)其內部材料要能經(jīng)受各種滅菌劑侵蝕,內部一般保證正壓。實(shí)質(zhì)上其內部材料要能經(jīng)受各種滅菌處理的工業(yè)潔凈室。例:制藥工業(yè)、醫院(手術(shù)室、無(wú)菌病房)食品、化妝品、飲料產(chǎn)品生產(chǎn)、動(dòng)物實(shí)驗室、理化檢驗室、血站等。B、 生物學(xué)安全潔凈室:主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內部要保持與大氣的負壓。例:細菌學(xué)、生物學(xué)、潔凈實(shí)驗室、物物工程(重組基因、疫苗制備)、

  五、萬(wàn)級凈化亂流潔凈室的原理和特性:
  1、定義:亂流潔凈室的定義是氣流以不均勻速度、不平行流動(dòng)、伴有回流或渦流的潔凈室.
  2、原理:亂流潔凈室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內空氣,將污染空氣逐漸稀釋?zhuān)瑏?lái)實(shí)現潔凈的(亂流潔凈室一般設計在千級以上至30萬(wàn)級凈化級別)。
  3、特性:亂流潔凈室是靠多次換氣來(lái)實(shí)現潔凈與潔凈級別。換氣次數決定定義中的凈化級別(換氣次數越多,凈化級別越高)
 ?。?)、自?xún)魰r(shí)間:是指潔凈室按設計換氣次數開(kāi)始送風(fēng)到潔凈室,室內含塵濃度達到所設計的凈化級別的時(shí)間。 1,000級希望不超過(guò)20min(分鐘) (可取15min計算) 10,000級希望不超過(guò)30min(分鐘) (可取25min計算) 100,000級希望不超過(guò)40min(分鐘) (可取30min計算)
 ?。?)、換氣次數(按上述自?xún)魰r(shí)間要求設計)1,000級 43.5—55.3次/小時(shí) (規范:50次/小時(shí)) 10,000級 23.8—28.6次/小時(shí) (規范:25次/小時(shí)) 100,000級 14.4—19.2次/小時(shí) (規范:15次/小時(shí))

  六、萬(wàn)級凈化潔凈室換氣次數估算:

  千級潔凈室不小于50次/h;
  萬(wàn)級潔凈室不小于25次/h;
  十萬(wàn)級潔凈室不小于15次/h。
  萬(wàn)級換氣次數[1] ≥25次/小時(shí)(一般取27-28);十萬(wàn)級換氣次數≥15次/小時(shí)(一般17-18)
  但是不能盲目按照換氣次數進(jìn)行設計風(fēng)量,要考慮房間及工藝余熱、余濕。


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